A reaktorkamrában a környezeti levegő oxigén tartalmából a 185 nm hullámhosszra hangolt VUV-lámpák nagy mennyiségű ózont állítanak elő:

Az atomos oxigén (O) a kétatomos oxigén molekula (O2) fotolízisével jön létre, amikor a 185 nm-es sugárzás a két atomos oxigén molekulát kettéhasítja. Ezt követően oxigén molekulával (O2) könnyen egyesülve háromatomos oxigén molekulát (O3), azaz ózont képez. Az ózon instabil molekula a harmadik oxigénatomot tartó gyenge kötés miatt. Ez az instabilitás az ózont természetesen erőteljes oxidáló és fertőtlenítő szerré teszi. A hatás akkor érvényesül, amikor az ózonmolekulák érintkezésbe lépnek oxidálható anyagokkal, ideértve a mikroorganizmusokat, vírusokat, baktériumokat, penészgomba spórákat, valamint szerves és szervetlen vegyületeket.
Az alkalmazott VUV-lámpák (185nm+254nm) sugárzási tartománya nem csak ózontermelést tesz lehetővé, hanem 254 nm-en is sugározva, erőteljes germicid, azaz fertőtlenítő, baktériumölő hatást is kifejtenek. Igen jelentős a 185 nm-es és 254 nm-es sugárzás együttes szinergia hatása a baktériumok és vírusok megsemmisítése tekintetében.
A kezelendő helyiségre alkalmazott ózonmennyiség bevitelét követően, az időzített kezelési folyamat végeztét követően, az ózontermelő lámpák automatikusan kikapcsolnak, csak a ventilátorok maradnak üzemben a kezelésben fel nem használódott maradék ózonmennyiség lebontásának elősegítése érdekében. A készülék által termelt ózon, ha nem használódott el kezelési a műveletekben, hamar visszaalakul természetes formájává oxigénné (O₂), 30-50 perces felezési idővel és nem hagy maga mögött ártalmas maradványokat. Minél magasabb a kezelendő helyiség hőmérséklete, páratartalma, és minél dinamikusabb a légáram, annál kisebb a felezési idő és annál hamarabb léphetünk a kezelt helyiségbe. A kezelés befejezése után a készülék 4 órát működteti még a ventilátorokat, ezzel fokozva annak a maradék ózonnak a lebontását, amely nem vett részt a kezelési folyamatban. Ha ezt követően belép a kezelt helyiségbe, azonnal jól át kell szellőztetnie azt.